【摘 要】
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研究了高效晶硅PERC 太阳电池量产开发过程中,背面激光工艺对晶硅太阳电池性能的影响。我们采用了背面AlOx/SiNx 叠层作为背面钝化介质层,对比了不同激光器频率对硅片表面的损伤及PERC 电池性能的影响。另外,我们研究了激光工艺刻蚀图形对PERC 电池性能的影响及产业化量产潜力。
【机 构】
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中利腾晖光伏科技有限公司,215542
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
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研究了高效晶硅PERC 太阳电池量产开发过程中,背面激光工艺对晶硅太阳电池性能的影响。我们采用了背面AlOx/SiNx 叠层作为背面钝化介质层,对比了不同激光器频率对硅片表面的损伤及PERC 电池性能的影响。另外,我们研究了激光工艺刻蚀图形对PERC 电池性能的影响及产业化量产潜力。
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