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该文讨论了抗疲劳集成嗅敏传感ＭＥＭＳ系统的设计思想，设计了一种集成嗅敏传感器阵列。根据传感器件阵列的实际结构和物理特征分析了其热传递模型，并用ＦＥＡ软件作了二单元阵列的温度分布分析。最后，介绍了利用微型执行器配合微型传感器阵列ＭＥＭＳ用于实现抗疲劳工作机制的可行性方案。
抗疲劳集成嗅敏传感MEMS的设计
【摘 要】
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该文讨论了抗疲劳集成嗅敏传感ＭＥＭＳ系统的设计思想，设计了一种集成嗅敏传感器阵列。根据传感器件阵列的实际结构和物理特征分析了其热传递模型，并用ＦＥＡ软件作了二单元阵列的温度分布分
【机 构】
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大学生医系生物传感器国家专业实验室
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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