【摘 要】
：
可变光衰减器(VOA)是光纤通信系统中重要的无源器件之一.采用MEMS技术的可变光衰减器,从实现光衰减的机制上分,主要有平面波导型、光路遮挡型、微镜倾斜型和MARS型等.文章提出了一种新的类型——光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器,主要由光纤定位结构、固定光纤、可偏移光纤和微执行器组成.理论分析表明这种MEMS可变光衰减器不仅可行,而且具有衰减范围大、衰减精度高、插入损耗小、回损大、与传输光波长、
【机 构】
：
上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心(上海)
论文部分内容阅读
可变光衰减器(VOA)是光纤通信系统中重要的无源器件之一.采用MEMS技术的可变光衰减器,从实现光衰减的机制上分,主要有平面波导型、光路遮挡型、微镜倾斜型和MARS型等.文章提出了一种新的类型——光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器,主要由光纤定位结构、固定光纤、可偏移光纤和微执行器组成.理论分析表明这种MEMS可变光衰减器不仅可行,而且具有衰减范围大、衰减精度高、插入损耗小、回损大、与传输光波长、偏振无关、可在单片上制造阵列等优点.
其他文献
为了获得高性能的RF-MEMS开关,用HFSS软件对RF-MEMS开关进行S参数仿真,对采用三种不同的介电常数的介质材料的开关以及在开关结构中引入微电感的开关进行了仿真.仿真结果与研制的开关样管实测结果基本吻合.结果证明:(1)选择高介电常数的介质膜材料,可提高开关的隔离度;(2)在开关结构中引入微电感和选择合适的材料可控制开关的适用频率.
采用真空热蒸发和大气中后热处理方法制备了具有纳米量级颗粒均匀表面平整的电双稳态Ag-TCNQ薄膜.热处理条件对于制备纳米颗粒度的薄膜至关重要.通过STM针尖施加三角波脉冲作用于薄膜上,在室温大气中实现了在1.2V处使薄膜从高阻态到低阻态,又在2.3V附近使薄膜从低阻态回复高阻态的转变,表明过程是可逆的.
微机电系统中残余应力会导致结构弯曲、下塌或断裂,这些会影响和限制结构的尺寸,降低结构的使用寿命,甚至导致器件的失效.因此,残余应力的检测对于微加工工艺的发展和监控具有非常重要的意义.文章总结了几种常用的残余应力检测技术,并对其中的两种方法(谐振频率法和阈值电压法)进行了一定的发展,建立了相应的理论模型,得到了计算公式和算例.同时,还给出了几个应用残余应力制作MEMS器件的实例.
介绍了动态被动阀微泵的工作原理及其特点,在研究中利用有限元方法及相关工具对其结构进行分析设计,在加工工艺中提出了二次腐蚀工艺技术,简化和改进了工艺过程,并对这些方法与技术中相关的问题进行了研究和讨论.
概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结果表明,该加速度计的精度达到了5×10,具有广泛的用途.
介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,在静电力作用下,微梁带动微镜移动以切换开关状态.本文对光开关的主要力学参数进行了仿真计算,与实验结果基本一致.
全光通信网的功率管理对光衰减器的体积,成本,工作方式都提出了较高的综合性能要求.基于MEMS技术的可变式光衰减器充分结合了微机械、微电子、微光学的性能特点,最有希望满足上述综合性能要求,具有广阔的市场前景.文章介绍了目前这一领域的研究现状,探讨了MEMS可变式光衰减器典型的全光网应用方案.
针对悬臂矩形板的挠性结构进行模态分析,根据压电传感片与检测扭转模态剪应变之间的关系来布置压电敏感器的倾斜角.根据压电敏感器的传感方程,采用压电传感片与压电致动片同位配置的独立模态控制方法,通过优化计算使模态传感器的观测溢出最小给出了压电敏感片的位置优化配置.
采用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)基片制备Pb(ZrTi)O薄膜,以PZT/Pt/Ti/SiO/Si和PZT/NiTi多层结构(简称PZT/Si和PZT/NiTi结构)为基础制备膜式微驱动器.系统测量了膜式微驱动器的谐振频率、弯曲位移等特性,并比较了两种结构微驱动器的动态工作特性.实验结果表明PZT逆压电效应与NiTi SMA的
介绍了欧洲各国MEMS的发展现状.本文分别从政府、大学及研究机构的角度介绍了欧洲各国MEMS的研究方向、机构设置、相关产品和工艺设备的情况,目的是为国内从事MEMS研究和开发的人员了解欧洲MEMS发展动态提供一些有用的信息.