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微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法，能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米-微米量级的精细结构。该方法精确重复，工艺简单，对实验室条件要求也不高，在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。
构筑微纳结构的新方法--微接触印刷术
【摘 要】
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微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法，能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米-微米量级的精细结构。该方法精确重复，工艺简单，对实验室条件要求也不高，在微电子学
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室兰州730000
【出 处】
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甘肃省化学会成立六十周年学术报告会暨第二十三届年会
【发表日期】
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2003年12期
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