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CIS（CIGS）太阳电池的背接触Mo衬底的研究

来源 :第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xf198699

【摘 要】

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Mo背接触对CIS(CIGS)电池性能有很大的影响,为了研究不同条件对Mo衬底性能的影响,我们制备了一系列样品。然后用膜厚测试仪、霍耳测试仪、扫描电镜等测试仪器对其进行了详尽

【作 者】

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郑桂波 李凤岩 周志强 孙云 李长健 

【机 构】

：

南开大学光电子所,天津300071

【出 处】

：

第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

背接触 直流磁控溅射 方块电阻 电阻率 

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Mo背接触对CIS(CIGS)电池性能有很大的影响,为了研究不同条件对Mo衬底性能的影响,我们制备了一系列样品。然后用膜厚测试仪、霍耳测试仪、扫描电镜等测试仪器对其进行了详尽的测量和分析,总结出不同参数对其的影响,从而为Mo衬底的制备提供理论依据。

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