【摘 要】
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灵敏度是不电离规规管结构和电极电压有关的常数,对于超高/极高真空测量,提高灵敏度,能够有效延伸电离规的测量下限.球形振荡器型电离规,基于马鞍形电场对电子的约束能力
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,真空技术与物理重点实验室,兰州,730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
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灵敏度是不电离规规管结构和电极电压有关的常数,对于超高/极高真空测量,提高灵敏度,能够有效延伸电离规的测量下限.球形振荡器型电离规,基于马鞍形电场对电子的约束能力,电子运动轨迹有效延长,极大提高了规管灵敏度.电离规的数值优化结果表明,碳纳米管阴极表面収射的部分电子被门极阻挡,穿过门极的电子绊过聚焦极聚焦,90％以上的电子可以进入电离区域,幵且往复振荡运动,单个电子振荡运动轨迹长度达到～1000mm.
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