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基于有限元方法,设计了一种用于应变式压力传感器的梁-膜-岛结构弹性体,分析了这种结构的优点;找到了结构参数的最佳匹配值,使传感器的精度大幅度提高,量程范围进一步降低;同时具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点.
低量程高精度应变式压力传感器研制
【摘 要】
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基于有限元方法,设计了一种用于应变式压力传感器的梁-膜-岛结构弹性体,分析了这种结构的优点;找到了结构参数的最佳匹配值,使传感器的精度大幅度提高,量程范围进一步降低;同
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所(四川绵阳)
【出 处】
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2004全国空气动力测控技术交流会
【发表日期】
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2004年11期
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