【摘 要】
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集成电路制造技术代表着当今世界微纳加工的最高水平，集人类超精细加工技术之大成，在50多年的快速发展历史中，微纳加工技术的应用领域已经从单一的集成电路制造加工发展到诸
【机 构】
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成研究室,北京100029
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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集成电路制造技术代表着当今世界微纳加工的最高水平，集人类超精细加工技术之大成，在50多年的快速发展历史中，微纳加工技术的应用领域已经从单一的集成电路制造加工发展到诸多科技领域，诸如纳米化合物半导体电路、有机分子电路、纳米MEMS、微流控芯片、纳米光学元件、集成光学、生物芯片、磁信息存储器等。
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