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提出了集成化光学干涉计构造方案,采用微细加工技术,实现了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成化光学干涉计.着重描述了超薄薄膜光电二极管的设计,制造和特性.
集成化光学干涉计的研制
【摘 要】
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提出了集成化光学干涉计构造方案,采用微细加工技术,实现了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成化光学干涉计.着重描述了超薄薄膜光电二极管的设计,制造和特性.
【机 构】
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薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海交通大学微纳米研究院(中国上海)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年期
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