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基于SLM的非球面检测方法的补偿波面精度分析
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室检测中心,上海201800
【出 处】
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第十六届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2016年9期
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