Ti、NiTi表面阳极氧化膜形貌

来源 :2004中国(青岛)材料科技周 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shichangyou1982
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本研究工作探索在纯钛、NiTi薄片及磁控溅射Ti、NiTi膜表面阳极氧化制备氧化膜,并运用金相显微镜和原子力显微镜分析氧化纳米膜形貌.研究结果表明,纯钛薄片在相同阳极氧化时间下,随着阳极电压升高,氧化钛颗粒尺寸增大;在相同阳极电压下,随氧化时间的增长,氧化钛颗粒尺寸增大.相同阳极氧化处理条件下,在磁控溅射Ti膜上阳极氧化纳米膜颗粒明显比在纯钛片上氧化纳米膜颗粒粗大.NiTi合金薄片在0.5%HF水溶液中阳极氧化长时间(30min)表面基本无变化,不能形成氧化膜;而磁控溅射NiTi膜在相同阳极氧化条件下发生阳极氧化,在其表面生成氧化纳米膜.
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