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文章叙述了采用金属有机物四异丙基钛（Ti（OC3H7）4）为钛源进行MOPCVD法沉积Ti（CN）涂层。并对涂层进行了其显微硬度测量和X射线衍射（XRD）测试分析。结果表明，沉积温度和气体组成对Ti(CN)涂层的沉积速率、显微硬度、涂层结构都产生一定的影响。
温度和氢氮比对MOPCVD-Ti(CN)涂层性能的影响
【摘 要】
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文章叙述了采用金属有机物四异丙基钛（Ti（OC3H7）4）为钛源进行MOPCVD法沉积Ti（CN）涂层。并对涂层进行了其显微硬度测量和X射线衍射（XRD）测试分析。结果表明，沉积温度和气体组成对Ti(CN)
【机 构】
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化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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第十届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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1998年期
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