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AlGaN紫外光探测器
AlGaN紫外光探测器
来源 :第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zfx523
【摘 要】
:
我们通过AlN插入层技术,成功生长出了高Al组份的AlGaN材科.研究并优化了AlGaN材料上的欧姆接触形成条件,而且还优化了Ni/Au肖特基接触,从而成功研制出了AlGaN紫外光肖特基型
【作 者】
:
岑龙斌
桑立雯
周绪荣
秦志新
张国义
【机 构】
:
北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871
【出 处】
:
第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
:
2006年期
【关键词】
:
肖特基接触
紫外光
优化
形成条件
欧姆接触
截止波长
探测器
可见光
插入层
组份
器件
技术
基型
材料
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我们通过AlN插入层技术,成功生长出了高Al组份的AlGaN材科.研究并优化了AlGaN材料上的欧姆接触形成条件,而且还优化了Ni/Au肖特基接触,从而成功研制出了AlGaN紫外光肖特基型探测器.其中,器件最短的截止波长为307nm,紫外/可见光(UV/visible)达到103以上。
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