论文部分内容阅读
应用气相沉积技术可以获得微米级或纳米级的单层或多层新颖材料。其中在机械部件和加工工具上硬质膜的应用一直是人们最感兴趣的重要方面。目前，对涂层硬质合金主要应用CVD技术，涂层高速钢和高合金钢主要应用PVD和PECVD技术。本文阐述具有高淬透性、二次硬化能力和淬火加热奥氏体化温度接近CVD涂覆温度的工具钢，在CVD涂覆的前后采用强化的热处理和表面保护的工艺方法进行处理可以获得优良的基材性能和优异CVD涂层的部件，将大大提高部件的使用寿命。我们在这方面应积极开展相应的研究工作。