随着高速切削及干式切削加工应用范围的不断扩大和新型难加工材料(例如镍基合金和钛合金等)的不断涌现,传统的TiN、TiAlN涂层已不能满足切削加工的要求。向传统硬质涂层中引入Si元素制备的TiAlSiN纳米复合涂层,其硬度值和高温稳定性会显著提高,高温抗氧化性也会得到改善,因而受到人们的广泛关注。本文采用真空熔炼方法制备的TiAlSi三元合金靶材,应用直流磁控溅射技术在WC-Co硬质合金基体上沉积了不同Si含量的TiAlSiN硬质涂层,研究了Si含量对其组织结构和力学性能的影响。结果表明,TiAlSiN涂层具有与TiAlN涂层一样的面心立方(B1)结构,薄膜主要由晶态的TiAlN和非晶态的Si3N4组成。随着Si含量的增加,TiAlSiN涂层的晶粒得到细化,而且涂层的柱状生长逐渐消失,涂层变地更加致密而均匀。利用纳米压痕仪对涂层的硬度进行了测量,结果表明随着Si含量的增加,涂层的硬度值先增加后降低。用划痕测试检测了涂层与基体的结合强度,结果表明在本实验研究的Si含量范围内,膜基结合强度随着Si含量的增加是不断减小的。