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微纳传感器在物联网、工业生产及安全领域表现出极大的应用前景.由于常规供电单元尺寸大、寿命短且需要定期维护,已无法满足器件集成化与智能化发展的需求,由于微纳器件的功耗常在微瓦至毫瓦量级,研制基于纳米材料的能量转换元件,安全、高效地将自然界中的光能、热能或机械能转化为电能,发展自供电微纳器件,已经成为微通过微纳器件研究领域的热点.在各种能量的采集过程中,基于压电材料的机械能采集最不易受环境条件的影响.