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采用高纯度纳米金刚石粉体作为研磨剂，选择合适的分散介质，并加入表面活性剂，超声分散后再经离心处理制成了油基纳米金刚石抛光液。对产物进行粒度分析、红外光谱分析以及扫描电子显微镜(sEM)表征，研究表面活性剂种类及其用量对抛光液的分散性、悬浮性、稳定性的影响。利用扫描探针显微镜(AFM)研究所得抛光液对单晶硅的抛光效果。结果表明：白油最适合做抛光液的分散介质；表面活性剂A和B复配的分散效果最好，抛光液的二次粒度趋于最小；单晶硅片抛光后表面粗糙度达到0．306nm。