【摘 要】
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近些年来随着我国科学技术的飞速发展,在很多大型生产和生活当中都需要进行精密的检测工作。其中大部分都是利用光学的各种干涉、衍射特性来实现和完成的。通过光学干涉的途
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近些年来随着我国科学技术的飞速发展,在很多大型生产和生活当中都需要进行精密的检测工作。其中大部分都是利用光学的各种干涉、衍射特性来实现和完成的。通过光学干涉的途径检测主要是利用两个波前,它们彼此之间所形成的干涉条纹的特征来作为参考的依据,通过与标准样本的对比(如:干涉图样缺损、干涉条纹弯曲度形变等等)来比较检测结果的好坏。通常使用的干涉法主要为标准面干涉法。而剪切干涉则属于共路干涉当中比较具有典型性和代表性的一种。本论文就是利用剪切干涉法中比较典型的单平板剪切干涉仪,建立一套比较完整、简便的光检测系统来恢复实际波前情况,判别未知波前的缺失。本论文是这样安排的: 第一章为导论主要介绍了论文题目来源、意义以及剪切干涉的发展和特性; 第二章波前横向剪切干涉检测理论主要介绍了剪切干涉基本原理,以及可能影响到实验的一些因素; 第三章主要介绍了几种比较经典的一维处理剪切干涉图样方法; 第四章介绍并详细推导了常用多维解析方法中理论基础以及Zernike 多项式各种坐标基底下的展开系数;
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