本文采用脉冲激光沉积和溶胶-凝胶法成功地制备了CoxTi1-xO2薄膜和粉末样品。利用自旋回波核磁共振谱仪(NMR)、X射线光电子谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、振动样品磁强计(VSM)、超导量子干涉磁强计(SQUID)等手段，系统地研究了CoxTi1-xO2薄膜和粉末样品的微结构和磁性，结果表明，前驱物在真空中直接烧结的样品室温铁磁性较强，主要是由于单质Co微粒的贡献，而不是磁性半导体的内禀性质。而在空气和氧气中烧结的样品的室温铁磁性虽然较弱，但不是主要来源于Co微粒，而是CoxTi1-xO2样品的内禀性质。这对澄清铁磁性起源方面的争论有较大价值；样品有很好的室温铁磁性，室温铁磁性不是主要来源于Co微粒，而是CoxTi1-xO2薄膜样品的内禀性质；在有氧气氛下降温的样品，和无氧气氛下降温的样品，其结构相同，都有室温铁磁性，但磁矩不同。在无氧气氛下降温制备的样品比在有氧气氛下降温的样品的磁矩大；掺Co和未掺Co的纯TiO2样品的导电机制相同。在低温符合T-1/4规律，为局域态漂移电导；在高温，为热激活的传导机制。