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基于原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的纳米机械刻划加工技术已经成为加工纳米结构的有效方法之一,随着纳米技术的发展,复杂微纳结构的制造已经成为一个研究热点。本课题针对AFM探针纳米加工技术中存在的加工结构一致性差和复杂程度低等问题进行研究,将AFM探针轨迹运动与工作台运动相结合,提出了提高AFM探针纳米机械刻划加工效率、加工结构复杂性和一致性的新方法,并通过实验验证了方法的可行性。首先,针对AFM探针在不同刻划方向加工结构的深度和质量一致性差的问题,对原有AFM系