本论文提出的基于F-P板干涉角位移测量仪,由理论计算构造出角位移与F-P板干涉信号相位变化量间的函数关系,此函数与初始入射角无关.使用计算机处理采集的干涉信号,对干涉条纹进行细分,实现干涉信号相位变化量测量的高分辩率.解决了采用F-P板干涉实现高精度角位移测量的两个关键问题.为进一步提高角位移的测量精度,我们提出了正弦相位调制单F-P干涉测量仪.正弦相位调制干涉测量技术是一种国际前沿的干涉测量技术,具有精度高、调制方便、结构简单的优点.但由于角位移与干涉信号相位变化的非线性关系,在本工作之前这种干涉测量法一直未能用于角位移测量.本方法采用CCD探测F-P板反射光束光斑的中心距来求取光线入射到F-P板的初始入射角,利用正弦相位调制干涉术来高精度测量干涉信号的相位变化量.文中由误差分析得出此方法的角位移测量精度在10<'-8>rad数量级,由实验得出重复测量精度为2.7×10<'-7>rad.在角位移测量中为简化初始入射角的测量过程,我们又提出了双F-P干涉测量仪.由正弦相位调制干涉术高精度测得两F-P干涉仪的干涉信号的相位变化量,再由两相位变化量算得初始入射角.文中由误差分析得出此方法的角位移测量精度为1.12×10<'-8>rad.由实验得出重复测量精度为2.1×10<'-7>rad.此外为解决激光空间通信中光源的发散度的检测问题,我们还成功研发出激光微弧度发散角测量仪.