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栅极多晶硅版图相关的40nm器件应力模型研究

来源 :华东师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：danaxiao99

【作 者】

：

汪明娟 

【出 处】

：

华东师范大学

【发表日期】

：

2018年09期

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