类金刚石及掺硅类金刚石超薄膜的制备和摩擦学性能研究

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【摘要】

：

本论文采用实验室最新设计研制的FDJ600型高真空多功能沉积设备通过离子束溅射以及射频感应耦合(inductively coupled plasma, ICP)化学气相沉积等方法,在单晶硅(111)基底上沉积了DLC超薄膜以及掺硅的DLC超薄膜。针对不同的沉积条件对超薄膜的摩擦学性能进行了研究。一、离子束溅射法制备DLC超薄膜的结构和摩擦学性能研究采用实验室最新设计研制的FDJ600型高真空多功能

【作者】

：

王智

【机构】

：

河南大学

【发表日期】

：

2008年06期

【关键词】

：

类金刚石超薄膜掺硅类金刚石摩擦学性能

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