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湿度与我们的生活密不可分,湿度传感器作为检测装置在人们生产生活中发挥重要作用。目前对于湿度传感器性能的改善主要是通过敏感材料。石墨相氮化碳是一种新型的高分子有机材料,自问世以来因其独特的电子结构和优异的性能引起广泛的关注。论文以碳酸胍作为前驱体,通过热分解方法在载玻片在制备氮化碳湿度敏感薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、傅里叶变换红外光谱等手段对薄膜的感湿机理进行分析,结果表明制备氮化碳薄膜沿厚度方向分布不均匀,与衬底侧相比,生长侧方向的薄膜层间距大、氮缺陷含量多,吸收水分子多