普通玻璃基片上TiO<,2>/SnO<,2>:Sb薄膜的SOL-GEL法制备和表征

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本论文研究:通过调节乙醇与钛酸丁酯的比例,在玻璃基片上制备了与ATO膜相匹配的折射率和厚度的TiO_2薄膜;然后在陔膜上制备了ATO薄膜。试图用TiO_2薄膜,消减ATO膜的反射干涉色;并作为隔离层,防止玻璃基片中钠离子扩散、防止ATO的导电性能下降。以钛酸丁酯、无机金属盐SnCl_2·2H_2O和SbCl_3为原料,用乙醇做溶剂配置TiO_2和SnO_2:Sb溶胶前驱液。采用溶胶.凝胶提拉法工艺,首先在玻璃基片上制备了TiO_2薄膜和Sb掺杂的SnO_2透明导电薄膜(SnO_2:Sb,
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