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光伏发电的应用是解决能源与环境问题的有效途径之一。HITTM(Heterojunction with intrinsic thin layer)太阳电池虽然诞生的时间不长,但是凭借其廉价高效的巨大优势成为全球光伏业界最受关注的发展目标,也成为目前该领域研究与开发的热点与难点。本研究工作目标是实现高效非晶硅/单晶硅异质结太阳电池的制备和提高晶体硅太阳电池的光电转换效率以及降低生产成本向工业化推进。论文的主要研究内容如下:采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在p