【摘 要】
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该论文主要利用动力学蒙特卡洛(KMC)模拟对超薄膜生长中的两个问题进行了详细研究.第一个是团簇扩散问题,主要涉及团簇扩散的机制、团簇尺寸与衬底温度等因素对扩散的影响等
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该论文主要利用动力学蒙特卡洛(KMC)模拟对超薄膜生长中的两个问题进行了详细研究.第一个是团簇扩散问题,主要涉及团簇扩散的机制、团簇尺寸与衬底温度等因素对扩散的影响等方面.第二个是考察在失配衬底上团簇的成核与生长特性,主要涉及失配度、温度、沉积速率等因素对成核过程、成核密度及其标度分布的影响.此外还研究了各向异性失配衬底在团簇生长的作用.该论文的研究结果表明:与单个增原子扩散不同,团簇扩散是非常复杂的过程,涉及到多种机制的共同作用,而衬底的失配及各向异性也可以明显影响超薄膜的成核与生长.上述研究结果对超薄膜生长与特殊纳米结构的制备具有一定的指导意义.
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