Φ64mm玻璃非球面的数控加工与检验

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近年来,非球面透镜凭借其紧凑系统结构、改善成像质量等优良性能,越来越多的应用在各种精密仪器中,这就要求非球面数控加工实现高精度、快速、批量生产。本文以计算机控制理论和Preston原理为基础,借鉴传统加工工艺,研究了非球面数控加工过程中的铣磨成型、抛光工艺以及设备的相关工艺参数。修正铣磨过程中的各项参数和误差;采用大口径弹性模与小工具修正相结合的方法进行抛光;引入铣磨反馈补偿,解决弹性模抛光对面形精度的破坏;对小工具的工作方式、特征去除函数、驻留时间和面形调整因子进行推导;仿真模拟加工过程。经实验,Φ64mmZF6非球面面形精度达到0.4um,表面光洁度Ⅲ级以上,加工周期短,重复精度高,对非球面元件的批量生产有着推广意义。
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