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随着微纳技术的迅速发展,微构件机械的力学特性数据对MEMS结构设计具有重要的影响。传统结构材料的宏观力学性能测试系统不能适用微构件材料特性的测量,因此需要研制一种可以应用于微构件材料力学性能测量的系统。本论文在基于拉伸加载法对微构件力学性能测量的基础上,重点研究微构件夹持对中引导方法、适用于微小被测试件的夹持机构、力与位移加载结构单元的设计,为后续测量系统的集成化打下了较好的基础。论文的主要研究内容包括：1.针对微构件力学性能指标所需的测量参数,对拉伸法微构件测试系统进行了整体结构设计和模块划分,并