微流控电泳仪是一种在传统毛细管电泳检测技术的基础上发展起来的一种新的微量分析设备。其在众多领域已得到广泛的应用,微全分析必将取代传统的实验室分析。在国外微流控电泳仪技术已逐渐发展成熟,而国内尚没有商品化的微流控电泳仪产品。微流控电泳仪检测系统的性能直接决定了微流控电泳仪的检测质量,为了缩短与发达国家的距离,发展我国自主微流控电泳仪产品,本文在完成对微流控电泳仪检测系统工作原理的分析认识之后,研发一款适用于微流控电泳仪检测系统的超精密位移平台。微流控电泳仪检测系统超精密运动平台采用二维叠加结构,现代先进驱动技术音圈电机作为其驱动装置以保证其快速响应,同时高精密双导轨保证其运行的平稳性和可靠性。为实现位置闭环控制,采用增量式光栅测量尺作为其位置反馈装置。为保证机械结构达到检测平台的性能要求,本文分别完成了音圈电机的对比选型、导轨的调研选型、光栅尺的原理分析选型安装等。微流控电泳仪检测系统超精密运动平台在控制上采用DC驱动器以实现音圈电机的控制驱动。本文首先介绍了驱动器的使用功能和调试方法,并在此基础上完成对驱动器的CVM编程控制。为实现平台的人机交互,本文采用80C51F030作为平台的运动控制卡,并采用按键扫面原理以及LED12864显示实现平台的控制信号输入以及运动状态显示。本文主要实现了超精密位移平台的模拟编程,串口通讯以实现对平台的实时控制,保证平台控制性能达到检测系统性能要求。最后为了完成对超精密运动平台进行的测试,搭建了一种采用倒置显微镜测量的实验台测试平台的定位精度以及重复定位精度。实验结果表明所设计搭建的超精密运动平台的重复定位精度为1.8μm、定位精度为54μm,能够满足检测系统对平台精度性能的要求。