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X射线荧光光谱法适用于对物质成分分析,可直接对固体(块状或粉末状)和液体样品中主量元素、微量元素进行多元素同时分析。当结合薄样技术时,具有高灵敏度,用样量少等优点。随着分析技术的发展和科研水平的提高,分析领域愈发关注待测成分复杂和含量低等特点课题,对仪器本身提出更高要求。本课题组由田宇纮教授带领下在全反射X射线荧光分析仪研究基础上对仪器进行了改进,研制出一台高灵敏度的新型X射线荧光光谱仪。论文对仪器结构进行介绍,并将仪器主要应用到微量元素的分析。本论文主要包括四个部分:第一部分:介绍了X射线荧光产生