【摘 要】
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目前,随着军用光学仪器领域的飞速发展,红外光学材料硫化锌(ZnS)广泛应用于红外光学系统中。本文以Φ35mm的硫化锌晶体为例,根据计算机控制光学表面成形技术和Preston理论作
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目前,随着军用光学仪器领域的飞速发展,红外光学材料硫化锌(ZnS)广泛应用于红外光学系统中。本文以Φ35mm的硫化锌晶体为例,根据计算机控制光学表面成形技术和Preston理论作为基础,通过多次的对比试验,对硫化锌晶体加工研磨的工艺过程进行了研究,探讨了硫化锌晶体的抛光技术。通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了使用数控抛光加工硫化锌晶体的最佳工艺匹配条件,解决了硫化锌晶体表面光洁度难以控制的加工技术难题。提出了高效、快捷的加工工艺流程,实现了小批量生产经过轮廓检测仪和Zygo干涉仪的检测,硫化锌晶体表面光洁度达到Ⅲ级以上,非球面面型精度能够达到0.2μm,中心偏差小于1μm,各项参数均满足红外光学系统的要求。
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