近年来,微波技术的飞速发展,新型微波系统不断涌现,对测量技术的效率和精度都要求越来越高。同时,计算机和仪器的飞速发展,以及接口母线的协议规范化,使智能化、自动化微波测量成为一种趋势。在这个过程中,LabVIEW逐渐成为自动测量系统开发的主流工具。TestStand是NI公司开发的可立即执行的测试执行管理软件平台,用于组织、控制和执行自动化原型设计、验证或制造测试系统。且其是基于一个高速多线程执行引擎,其性能足以满足很多严苛的测试处理能力要求。加入在LabVIEW编写的测试程序,TestStand能够快速创建测试序列。由鉴于此,本课题以高频参数自动化测量为发展方向,结合微波测量技术,模块化仪器,模块化系统,设计一个能够自动测量微波高频参数的自动化测量系统。本论文根据实验室现有的E8363C安捷伦PNX系列矢量网络分析仪,B1500A半导体分析仪,N5181A模拟信号发生器,结和仪器使用手册,仪器固件,微波测量原理,以及以前开发出的音频芯片自动化测量系统的经验,开发出高频参数自动化测量系统。根据NI-VISA开发出仪器的驱动,然后根据仪器的固件版本,通过VISA的API接口,对仪器进行控制,以及GUI的再次开发,满足不同测量需求。将三种不同的仪器模块化,系统化,集成在一个控制界面,最后再结合TestStand实现对仪器控制的流程化,数据和存贮条件的实时化,达到从仪器初始化,测量条件设置及存贮,测量参数保存、分析以及存储,全自动化的目地。并且,实验系统能完好的复用,优化以及扩展。本论文的特色与创新之处在于：(1)根据已有的仪器,固件,将控制模块化,一体化,,并完善了仪器的功能。(2)将TestStand引入测量,使从仪器设置到参数存储,实现自动化一体测量。(3)开发出一套集数据存储,算法,自动制表,自动作图于一体的存储系统。