【摘 要】
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黄光激光器作为一种接近人眼敏感区域的激光器在诸多领域都发挥着重要的作用,而谐振腔又是激光器中重要组成部分。本文针对黄光激光器谐振腔腔面膜使用要求,以Nd:YVO4(c-cut)
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黄光激光器作为一种接近人眼敏感区域的激光器在诸多领域都发挥着重要的作用,而谐振腔又是激光器中重要组成部分。本文针对黄光激光器谐振腔腔面膜使用要求,以Nd:YVO4(c-cut)晶体为基底,利用真空镀膜设备研制出四波段的腔面膜。首先在膜系设计过程中通过分析膜层电场强度,优化膜系,使膜层中驻波场强得到合理分布,从而在理论上减小了膜层损伤的可能性；其次通过TFCalc软件对测试结果进行工艺反馈分析,经过多次模拟实验,发现在不同控制波长下,采用相同监控方法膜厚比例系数不同,通过调整工具因子解决了光谱曲线漂移的问题。最终制备出膜层牢固,化学性能稳定,满足四个波段光谱输出的黄光激光器腔面膜。
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