超声波电机是近年发展起来的一种新型机电装置，它具有直接驱动、低速大转矩、断电自锁、响应速度快、定位精度高的特点，适用于高精度定位控制领域。　　本文以环形行波型超声波电机的微步进控制方式为基础对其低速控制和高精度微纳定位控制进行研究。实验平台为基于DSP的超声波电机控制系统，该系统以TMS320F28335为核心控制器，以推挽式方波逆变电路作为驱动单元，以分辨率为0.41"的圆光栅测角系统作为电机位置的反馈单元。　　在低速控制方面，研究了超声波电机微步进控制的方法及其特性，使用基于PI的速度反馈闭环对超声波电机在微步进运行方式下进行低速控制（1°/s以下），并对其低速控制性能进行实验分析。在高精度微纳定位控制方面，通过研究超声波电机连续运行直接定位的特性及其微步进控制的角位移特性，运用连续运行与微步进运行相结合的控制方法进行了超声波电机的闭环单向定位控制和闭环往返定位控制，并对其定位性能分别进行分析，实现了角秒级的定位精度。　　本文研究成果为超声波电机高精度微纳定位控制的研究和应用提供了理论和数据依据，为进一步开展该领域的研究工作提供了一定的借鉴意义。