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微结构光学元件表面具有微结构特征,能够改善像质、校正像差,并提高光学系统的成像质量。玻璃模压成形技术具有加工精度高,能稳定批量生产的特点,能够复制具有复杂表面的非球面,也适合微结构光学元件的成形加工。由于微结构光学元件整体尺寸小,利用模压成形加工微结构光学元件存在较多的缺陷,如尺寸的传递性较差、填充不饱满等,严重影响了光学元件的形状精度和表面质量。因此,研究模压成形过程中不同因素下填充的效果对于提高微结构成形精度有重要的实际意义。有限元方法在模压成形的运用,能够实现微结构光学元件成形过程中填充情况、