20世纪80年代以来，高技术产业正逐步代替劳动和资源密集型产业，世界各地区都在积极调整战略，把发展高技术产业当作经济竞争的制高点。高技术产业资源配置效率问题作为高技术产业发展的基础性问题，直接影响到产业链的效率水平和自主创新能力，因此，合理配置和优化高技术产业资源、提高资源的使用效率是目前急需解决的重大问题。 本文首先分析了我国高技术产业的发展情况、特点及存在问题，运用定性的方法对我国高技术产业资源配置的情况进行了描述、对比，根据我国高技术产业现状及评价资源配置的方法选择运用DEA对我国的高技术产业进行分析，并对模型进行描述。 其次，建立DEA模型的指标评价体系，根据指标选取原则、高技术产业的特点及影响高技术产业资源配置效率的因素，本文分别选取了全部从业人员平均人数、年度实际完成投资、新增固定资产和R&D经费四个指标对投入资源进行衡量，而把总产值、主营业务收入、出口交货值和增加值分别作为产出指标，来衡量高技术产业的产出能力。 最后，本文运用数据包络分析法(DEA)分别从地区和行业的角度对我国的高技术产业资源配置的相对效率进行了研究。运用LINDO得出计算结果，对各地区和各行业的高技术产业资源配置效率进行排序;通过对“影子价格”的分析，找出效率低下的原因;通过对投入冗余率、产出不足率及规模效益的分析得出现阶段高技术产业资源配置效率情况;通过“投影”的分析，得出了在现有的条件和环境下，各指标应该增减的数量，为我国高技术产业各项资源的投入和产出提供了一些参考意见。