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近年来，压电厚膜的研究引起了人们极大的兴趣，与薄膜相比，厚膜的压电、铁电性能较少受界面、表面等影响，同时较大的厚度能产生更大的驱动力，且具有更宽的工作频率，其中又以PZT压电厚膜器件最为突出，这同时对PZT材料的制备提出了更高的要求。目前生产PZT颗粒的方法主要用水热合成法，但是颗粒大小难以达到纳米级。本文提出利用脉冲兆赫超声法对合成的微米级PZT颗粒进行冲击，达到制备纳米级PZT颗粒的目的，并对得到的纳米PZT颗粒进行了压电力显微测量的探索性研究，成功测得其纵向压电系数并完成比较分析。主要