【摘 要】
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该文首先分析了目前在同步辐射光学元件轮廓测量中得到应用的基于双细光干涉原理的长程面形仪(LTP)方案,并进行了实验研究.总结了这类顺序扫描式轮廓仪的一般特点,进而指出了
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该文首先分析了目前在同步辐射光学元件轮廓测量中得到应用的基于双细光干涉原理的长程面形仪(LTP)方案,并进行了实验研究.总结了这类顺序扫描式轮廓仪的一般特点,进而指出了LTP方案的不足之处,为开发新型长程面形仪奠定了基础.将衍射准直技术引入基本f-θ透镜系统中,并其特征进行了分析,指出这这种新型f-θ系统的优越性.讨论了几种典型衍射器伯所生成的测量光斑图样分布及特点,特别指出小曲率半径非球面对测量光斑的作用,从而对放大测量系统的应用范围有一定的参考价值.考虑到测量光斑的图样定位分辨率和精度在很大程序上制约着基于f-θ透镜系统的轮廓仪的系统分辨率及精度,针对干涉式和衍射式长程面形仪的测量光斑特点,分别提出了两种高精度、鲁棒的数据处理方法.研制成功了新型长程面形仪样机.目前该样机的纵给扫描可达370mm,分辨率优于0.25μrad,单点稳定性小于0.58μrad/600s,全程测量精度可达1.14μradμrad,全长扫描的重复精度为0.53μrad.
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