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316L不锈钢具有较好的耐蚀性和优异的机械性能,被广泛应用于制备心脏支架,但裸体支架长期在人体中服役会出现在支架的表面形成血栓以及支架被腐蚀释放金属毒性离子Ni2+,Cr3+和Cr6+等现象。Ti-O和Ti-Al-O复合氧化物具有较强的耐蚀性能和良好的生物相容性,通过射频反应磁控溅射在316L不锈钢支架上沉积Ti-O、Ti-Al-O复合氧化物薄膜,可以阻隔金属毒性离子释放到血液中,提高其生物相容性、载药性。通过改变溅射温度、气压、氧气流量、溅射功率和时间等工艺条件,使用射频磁控溅射法在316L不锈钢