【摘 要】
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精密丝杠是影响精密仪器与机械结构精度的关键部件,对其加工精度有着很高的要求。因此在丝杠的加工过程中离不开与之配套的在线动态测量系统。本文首先全面介绍了丝杠的动态
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精密丝杠是影响精密仪器与机械结构精度的关键部件,对其加工精度有着很高的要求。因此在丝杠的加工过程中离不开与之配套的在线动态测量系统。本文首先全面介绍了丝杠的动态和静态测量方法,以及国内外研究现状,在分析研究几种典型的丝杠测量仪原理性能与结构特点的基础上确定了测量系统的总体设计方案。根据总体设计方案,首先选择了双频激光干涉仪和圆光栅作为丝杠的水平位移和角位移的标准器,对双频激光干涉系统和圆光栅系统的原理与技术进行了研究,并设计了相应的机械机构。另外进行了测量系统的软硬件设计,最后对系统进行了总体精度分析,其测量精度达到检测常规丝杠二级精度等级的要求,满足精密机械机构的需求。
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