干式真空泵作为获取清洁真空环境的关键设备,具有可靠性高、维护成本低、噪声小等多方面的优点,随着航空航天、半导体芯片、生物医疗、太阳能光伏、液晶注入、化工制药等战略性新兴产业和创新驱动产业不断的发展和完善,干式真空泵在这些行业中扮演着越来越重要的角色。同时随着这些行业的发展,对干式真空泵的需求也在逐渐提高。这就对干式真空泵的理论设计、性能指标和测试精度提出了更高的要求。对于真空泵的测试方面来说,国内现有的大多数真空泵测试测量分散,测试参数单一,只能进行整泵的测试,大部分测试还采用手动操作与读数,这导致了测量精度差且测量范围窄,大部分的真空泵测试都只是应用在泵的出厂产品的检验上。现在真空泵测试向着多参数集成测量、自动化测试、测量范围宽、测量精度高的需求转化,为干泵结构设计提供数据支撑。针对以上问题和需求,论文选取研究大流量条件下干式真空泵性能测量方法,并搭建干泵抽气理论验证平台。在泵的理论设计方面提出一个大流量性能测试方法,满足大流量测试需求;可以对单级泵进行测试,支撑转子参数化设计,为真空泵改型设计、国产真空泵研发提供数据支撑。在测试需求方面设计干泵抽气理论验证平台,建立集成化、自动化、精度高的宽量程干泵测试系统,并且可以模拟实际工况,测量干泵在抽除高温气体时的性能参数。本文以压力、流量、温度、转速等为主要实验参数,对特定参数进行定量调节,测量其他参数的变化情况,进而测量不同条件下干式真空泵的性能参数,为真空泵的理论设计提供实验支撑。先参考国内外的真空泵测量技术标准与相关文献对干泵抽气理论验证平台进行方案与结构设计;接着对压力测量模块进行设计研究同时运用Fluent模拟压力测量点与实际泵入口的压力,设置验证性试验分析压力测量点测量泵入口压力的准确性;再对流量测量模块与大流量气体测量方法进行研究及分析,提出一种在流量计前后加装缓冲室和平衡室的流量测量结构,保证流量测量的范围与测量准确性;再对温度控制测量模块进行研究并对抽速测试罩温度场进行模拟及验证,确保罩内加热模块对来流气体加热均匀,能模拟实际工况;最后对干泵抽气理论验证平台的不确定度进行分析,保证测量的准确性。综上所述,论文提出了干式真空泵的大流量测试方法,设计并搭建了干泵抽气理论验证平台,满足了宽量程、高精度的设计指标与集成化、自动化、高精度的测试需求,填补了精确测量大流量干式真空泵抽速的空白,为其理论设计提供实验数据支撑。