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泵是将其他形式的能转化为液压能的装置,为整个液压系统提供能量。传统的液压泵站通过电机将电能转化为机械能,泵将机械能转变为压力能。由于电机和液压泵的体积大,重量大,限制了液压系统在微机电系统、微流体高精度输送、航空航天、行走机器人等领域的应用。在这种背景下智能材料驱动的微小型液压泵得到发展,其中压电泵因其具有体积小、重量轻、功率密度大、抗干扰能力强等特点受到广泛关注和研究。经过20多年的发展,出现了许多形式的压电泵,但是目前压电泵的最大输出流量和最大输出压力都较小,限制了压电泵应用领域的拓展。目前主要