【摘 要】
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该论文较为详细的介绍了其于图像识别的自动定位检测技术的原理,详细说明了图像识别中图像分割技术的原理和应用,分析了基于图像像素的单阈值分割法的原理和应用,讨论了适用
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该论文较为详细的介绍了其于图像识别的自动定位检测技术的原理,详细说明了图像识别中图像分割技术的原理和应用,分析了基于图像像素的单阈值分割法的原理和应用,讨论了适用于图像检测的光学成像系统并提出了相应设计原理,同时也探讨了工作定位装置的驱动和控制的设计原理;针对软件系统,该论文介绍了测量和定位功能的软件实现,着重介绍了图像识别的软件实现,提出了采用迭代法求取最佳阈值并采用单阈值法分割图像;针对位移动态测量,该论文着重介绍了窗口质心法的动态跟踪原理,以及样板匹配快速图像边缘检测的技术与方法,提出了采用软件时钟定时;针对面阵CCD的不均匀性,该论文阐述了导致不均匀性的原因,并且着重介绍了两点法线性校正的原理和方法,并且给出了具体的校正公式.通过实验证明,该系统在原系统基础上普通显微尺寸测量重复精度提高到±0.1μm,动态位移测量的相对误差小于0.2﹪（100μm）,目标的定位的重复精度小于0.05mm.测量与定位精度高,该项技术可以运用到实际中.
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