电液伺服阀是电液伺服系统中的重要控制元件，能够将微小的电信号放大为大功率的液压力并通过伺服作动器进行输出。精密电液伺服阀目前已经广泛的应用于航空、航天、航海等重要的军事领域，属于控制系统中的关键元件。偏导射流式伺服阀的抗污染能力强，并具有较大的流量放大系数、压力放大系数，灵敏度较高。由于射流盘是偏导射流式伺服阀的关键零件，因此它的加工工艺直接影响着产品的性能和生产效率。本文首先对固着磨料加工机理做了相应介绍。结合相应的机械化学研磨原理以及对射流盘研磨过程的运动分析，对射流盘平面研磨的原理做了相应的介绍。通过对微观单颗粒磨料加工材料去除机理以及压力等影响研磨效果因素以及理论表面粗糙度的介绍，为后续试验研究打下了一定的理论基础。其次，对伺服阀射流盘的工艺流程作了相应优化设计。提出了射流盘高精度自动研磨所用的设备。针对射流盘自动研磨的加工过程以及后续检测，设计了相应的工装。对自动研磨所用的磨料进行了分析和选择。最后，针对射流盘自动研磨过程中参数的优化，在试验方面采用正交试验法设计了射流盘研磨加工试验，以磨料粒度、研磨压力、主轴转速等为影响射流盘表面粗糙度、加工时间的主要因素，进行了研磨加工试验，得出了射流盘研磨质量与加工参数间的关系。并通过试验对比，采取了正、反、正三次研磨的加工工艺方案。