BiFeO靶材及薄膜的制备与性能研究

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多铁材料同时具有铁电有序和铁磁有序两个自由度,并能产生磁电耦合效应,因而在新型存储材料、复合器件、传感器和自旋电子器件等方面具有广阔的应用前景。BiFeO3(BFO)是少数几种在室温下同时具有铁电性和铁磁性的单相多铁材料之一,因而近年来成为人们研究的热点。本论文对BFO系列陶瓷和薄膜进行了较为系统的研究,主要开展了以下几方面的工作:
   针对BFO 因对温度的敏感性而难以获得纯相的陶瓷和薄膜的问题,我们比较研究了各种陶瓷烧结方法,发现改进的固相反应法对BFO 陶瓷成相最优,并最终确定了靶材的最佳烧结温度和时间,分别为850 ℃和20min,引入掺杂离子后烧结温度有所提高。同时优化了薄膜的射频磁控溅射制备工艺,获得了最佳的工艺参数,制备了性能良好的纯相BFO 薄膜样品。
   BFO样品中,因Bi 元素的挥发及Fe 离子的价态波动而常常导致大的漏电流,进而严重影响其铁电、介电性能。掺杂被公认为是解决这一问题的有效方法。我们尝试了采用上述优化的样品制备工艺,进行A位Dy 掺杂,B位Ti 掺杂,及AB位Dy-Ti 共掺杂的研究,来改善BFO 陶瓷及薄膜样品的性能,效果良好。
   将纯BFO 及掺杂量为5%,10%,20%的样品放在一起,比较了掺杂对陶瓷和薄膜微观结构及宏观性能的影响,确定了最佳的掺杂比例。对于Dy 掺杂的BDFO样品,掺杂量为10%时,陶瓷和薄膜显示了最优的铁电和介电性能;对于Ti 掺杂的BFTO样品,掺杂量为5%的陶瓷样品性能最优,而掺杂量为10%的薄膜样品性能最优;
   Dy-Ti 共掺杂的BDFT样品铁电性能良好,但介电难耐高频。
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