【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)的飞速发展令世人瞩目,而微流体控制系统作为MEMS技术研究的一个主要方向,已展示了其广阔的市场应用前景。微泵是微流体控制系统的重要执行器件,是微流体控制系统发展水平的重要标志,目前已研制出多种类型的微型泵,而其中又因无阀型微泵结构简单、装配方便等优点,而成为近年来研究热点。本文介绍一种单振子双腔并联无阀压电微泵的结构及其工作原理,并分析和研究它的性能。首先根据弹性薄板小挠
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微电子机械系统(MEMS)的飞速发展令世人瞩目,而微流体控制系统作为MEMS技术研究的一个主要方向,已展示了其广阔的市场应用前景。微泵是微流体控制系统的重要执行器件,是微流体控制系统发展水平的重要标志,目前已研制出多种类型的微型泵,而其中又因无阀型微泵结构简单、装配方便等优点,而成为近年来研究热点。本文介绍一种单振子双腔并联无阀压电微泵的结构及其工作原理,并分析和研究它的性能。首先根据弹性薄板小挠度弯曲理论和压电学的相关理论建立复合双压电层压电振子理论模型,使用能量法,推导出在固支边界条
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