作为原子发射光谱仪器的重要部件,激发源在成分检测方面有着不可替代的作用,具有辉光放电激发源、电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)激发源、微波等离子体激发源等多个种类,其中ICP激发源因为激发能力强、抗干扰能力强等优点成为常用的激发源。目前光谱仪微型化已经成为分析仪器领域研究的重要方向,其中激发源微型化的研究至关重要,然而关于微型激发源尤其是微型ICP激发源的研究报道很少,因此对微型ICP激发源的研究与探索具有重要的价值与意义。课题组前期仅对线圈为铜质材料的微型立体螺旋线圈ICP激发源的启燃功率和维持功率进行了探究。为了得到更好的激发性能,本文将继续选取激发源的立体螺旋线圈作为研究对象,通过搭建激发气体和采集光谱的实验平台,对激发源的激发性能进行进一步探究,本文的主要工作如下:(1)在实验过程中,采用CCD光谱检测系统采集光谱时存在不足,安装了准直透镜的固定装置,比较了安装固定装置前后的实验数据,结果表明实验所得的数据稳定性得到提高。(2)根据微结构立体螺旋线圈的设计方案,分别采用铜线和银线各加工制作了24种不同结构参数的立体螺旋线圈。运用全面试验法比较了不同结构参数的立体螺旋线圈的激发效果,找到了立体螺旋线圈激发氩气时的最佳结构参数组合。对铜质螺旋线圈与银质螺旋线圈的激发效果进行了比较。(3)分析了射频功率和工作气压对氩等离子体光谱强度的影响,得到激发源激发氩气时的理想工作条件:射频功率范围为18~22 W,工作气压范围为60~100 Pa。(4)完成了微型立体螺旋线圈ICP激发源的精密度实验,通过实验观测波长为772.42 nm氩谱线的光谱强度,计算得到激发源的相对标准偏差(RSD)值为2.3%。(5)对空气样品进行激发,检测到氮、氧、碳、氦、氖共5种元素的原子谱线与离子谱线,表明微型立体螺旋线圈ICP激发源具有激发空气样品的能力。