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21世纪以来,随着科技的快速发展,在众多工程领域中都对定位精度提出越来越高的要求。在半导体制造,表面测试技术,生物科技,医学工程,光纤作业和光学等领域中,定位系统的精度甚至需要达到纳米量级。除此之外,快速的响应速度以及能够在高真空,大温差范围等极端工作条件下内正常的工作的能力也都常常是需求点。本研究课题即是基于上述背景,以非共振式压电电机为核心研究对象,结合压电精密致动技术,着力研究非共振式压电电机及多自由度高精度运动平台的原理以及实现方法。对串、并联的宏动平台以及精密平台的发展近况进行简单介绍,对