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本文利用阳极氧化的电压-时间曲线、扫描电子显微镜、能量色散X射线谱、X射线粉末衍射仪、电容器模型等仪器对氧化过程及氧化膜进行表征。分别采用一次阳极氧化和二次阳极氧化制备了多孔氧化铝模板。结果表明,随着氧化时间的增长,多孔氧化膜的有序度增加。经过二次氧化后得到的氧化膜虽然氧化的时间较短,但有序度比一次氧化的多孔氧化膜要高,可以形成排列规则的六角蜂窝形孔洞。 通过自制的电解电容器模型,利用氧化铝薄膜的介电性能计算氧化膜的厚度。结果表明:利用其介电性能可以准确的计算阻挡层氧化膜厚